公司简介
安徽国科量光技术有限公司成立于2025年，是国内首个聚焦于VUV-EUV-XUV波段台式化高亮度光源和相关仪器设备的产业化团队。真空紫外-极紫外-软X射线（VUV-EUV-XUV）处于“轻元素材料”的特征光谱区（Z=1-18元素的K边、Z=19-44元素的L边），短波长的优势也可以提供更精细的空间分辨，因此VUV-EUV-XUV光源在“轻元素材料”物质成份光谱检测、显微成像形貌检测和光刻加工等领域有广泛的应用需求。传统上， VUV-EUV-XUV光源主要由合肥同步辐射光源等大科学装置提供，一直缺乏小型仪器和工业设备。
国科量光致力于将大科学装置的部分功能发展为具备元素分辨、时间分辨和空间分辨能力的小型仪器和工业设备，为半导体、新能源、新材料、催化化工、航空航天和核聚变等领域提供先进检测技术。
团队介绍
研发团队源自中国科学技术大学核科学技术学院、国家同步辐射实验室和可控核聚变物理前沿重点实验室，是中国科学技术大学赋权企业，拥有20余年的激光等离子体光源、X射线仪器设备、核聚变和等离子体技术研发经验，是国际上热辐射激光等离子体光源的三个核心团队之一。在Science子刊/PRX等发表学术论文90余篇、授权发明专利十余项。承担中科院颠覆性项目、中科院先导专项课题、国家重大科技专项课题、国家自然科学基金等项目。荣获江淮英才省高层次人才领军项目、安徽省科技进步一等奖、安徽省高层次科技团队、安徽省高校科技成果转化之星、合肥市科技成果转化十大典型案例、合肥市高新区科技领军创业团队、国家重大科技专项优秀课题奖、高技术计划优秀课题奖、蔡诗东等离子体物理奖、安徽省优秀硕士论文奖等荣誉。研究成果被CCTV2/CCTV10/新华网/央视科晚等视频报导，被人民日报/科技日报/中国科学报/中国证券报/安徽日报等媒体广泛关注。
核心技术及优势
团队在DUV-EUV-XUV激光等离子体光源和仪器设备方面掌握核心技术，是该领域国际首批产业化团队。激光等离子体光源利用高功率激光驱动产生亚毫米尺寸的高温等离子体，这种“人造小太阳”辐射出波长和光通量接近大科学装置的VUV-EUV-XUV光。团队在国内最早开展热辐射激光等离子体光源实验研究，掌握了关键物理机制、提出了优化光源的原创性方法、研制了光源控制和参数诊断的核心设备。研发团队将同步辐射装置的关键单元技术与激光等离子体光源相结合，研发DUV-EUV-XUV波段的光源、光谱和成像等小型精密仪器设备，填补了国内空白。
公司主要产品及应用领域
深紫外、真空紫外、极紫外和软X射线波段的高亮度台式化光源，以及基于该光源的吸收光谱、成像、椭偏仪和分光光度计、光电离质谱、光电子能谱等仪器和工业检测设备，并提供测试服务。波长范围200-0.4nm、谱分辨好于1/1000、空间分辨好于50nm、光通量109-1013phs/s/1%wd、时间分辨覆盖飞秒-皮秒-纳秒范围、辐照尺寸50μm-1m、具备元素分辨能力(Z=1-44元素检测限~1%wt、~0.5nm厚度)。产品应用于半导体、新能源、新材料、催化化工、航空航天、量子科技、生物化学、核聚变等领域。
公司推出的国内首个VUV-EUV-XUV吸收谱台式化仪器，谱分辨、元素含量分辨、光通量、稳定性等核心参数均优于国外同类产品，在半导体、催化剂、储能电池、低温等离子体、滤光片、反射镜、光栅、光谱仪、核聚变等领域的材料和器件测试中得到广泛应用。
图1公司推出的国内首个VUV-EUV-XUV吸收谱台式化仪器原理图
图2样品测试结果图
公司网址： www.gklgtec.com
企业联系人：阿女士
联系人电话：13146623299；0551-66820760
联系人邮箱： gklg@gklgtec.com
